硅基纳米线湿度传感器是一种基于硅纳米线无电镀镍复合结构的微纳湿度传感器件。该器件是在 N 型硅衬底上采用电化学刻蚀技术制作大面积硅纳米线阵列,然后在该阵列上无电镀沉积镍薄膜形成 Ni/SiNWs 纳米复合结构。由于该结构具有大的长径比和比表面积,其微观结构独特,能够产生独特的物理、化学特性,其对水分子的吸附和解吸附能力都较纯硅纳米线阵列要好。
商品类型 | 技术成果 | 项目阶段 | 研制 | 成果权属 | 共有 |
技术领域 | 交易方式 | 股权投资 | 权属人 |
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