江苏省技术产权交易市场

一种薄膜厚度测量方法及系统
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商品权属
自有
交易方式
技术转让
购买方式
意向购买
价格
¥ 50,000 元

店铺信息

淮阴师范学院联合技术转移中心
电话 139xxxx0010
本发明公开了一种薄膜厚度测量方法及系统,包括照明光学装置,成像光学装置,薄膜厚度解析装置。本发明不仅测量精度高,而且光路简单、紧凑稳定,成本低,易于实现在线测量。

在大规模集成电路的生产工艺中各种膜层的厚度是重要的工艺参数之一。由于电路集成程度的不断提高对膜层厚度的精确度要求越来越高。在生产工艺中对膜厚进行精确检测是保证产品质量和提高生产效率的重要手段。因此本发明专利的研制内容,具有广阔的市场应用前景。

商品类型 专利 申请号 2016109363175 所属行业 暂缺
专利类型 发明 法律状态 有权 IPC分类号 G01B11/06
交易方式 技术转让 专利状态 已授权 授权号
高新技术领域分类 电子信息 信息有效期至 长久有效 授权日
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