智能分析产品,精确定位客户
高校院所技术交易智能管家
在线技术交易新模式
为你的研发创新 提供定制化服务
把握产业,科技产品关键时刻
抱歉,您没有实名认证!
抱歉,请即刻前往完善基本信息
修改密码
您的密码过于简单,为了您的账户安全请立即修改
您未进行任何身份认证!
您挂靠的事务所已与您解除绑定!
本发明公开了一种薄膜厚度测量方法及系统,包括照明光学装置,成像光学装置,薄膜厚度解析装置。本发明不仅测量精度高,而且光路简单、紧凑稳定,成本低,易于实现在线测量。
在大规模集成电路的生产工艺中各种膜层的厚度是重要的工艺参数之一。由于电路集成程度的不断提高, 对膜层厚度的精确度要求越来越高。在生产工艺中对膜厚进行精确检测, 是保证产品质量和提高生产效率的重要手段。因此本发明专利的研制内容,具有广阔的市场应用前景。
面议
¥ 30,000 元
抱歉,您没有登录无权访问该页面!
联系方式
购买意向调查
确认收藏商品吗