江苏省技术产权交易市场

一种薄膜厚度测量方法及系统
468人浏览  | 交易次数:0次
商品编号
202010402031875459
商品权属
代理
交易方式
技术转让
商品价格
¥ 50,000 元

店铺信息

淮安市师苑技术转移有限公司
电话 139xxxx0010
本发明公开了一种薄膜厚度测量方法及系统,包括照明光学装置,成像光学装置,薄膜厚度解析装置。本发明不仅测量精度高,而且光路简单、紧凑稳定,成本低,易于实现在线测量。

在大规模集成电路的生产工艺中各种膜层的厚度是重要的工艺参数之一。由于电路集成程度的不断提高, 对膜层厚度的精确度要求越来越高。在生产工艺中对膜厚进行精确检测, 是保证产品质量和提高生产效率的重要手段。因此本发明专利的研制内容,具有广阔的市场应用前景。
商品类型 专利 申请号 2016109363175 IPC分类号
G01B11/06
专利类型 发明 法律状态 有权 技术领域
电子信息
交易方式 技术转让 专利状态 已授权 专利权人
淮阴师范学院
暂无数据

购买意向调查