Cr-Si中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性好等优点,在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来说,靶材是至关重要的,它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻温度系数(Temperature Coefficient of Resistance, TCR)等性能。电阻温度系数(TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一,较大的TCR在温度变化时会造成电阻值漂移,从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜电阻器用高阻靶材,其性能不能满足低TCR(≤25ppm/℃)要求。
商品类型 | 技术成果 | 项目阶段 | 研制 | 成果权属 | 独占 |
技术领域 | 电子信息 | 交易方式 | 其他 | 有效期至 | 长久有效 |
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